Viele der in modernen Produkten verwendeten Komponenten werden immer kleiner. Die Bauteilgrößen in der integrierten Schaltungstechnik (IC) wurden in den letzten drei Jahrzehnten um etwa zwei Größenordnungen reduziert.
Mikromotoren von der Größe eines menschlichen Haares wurden mit IC-Technologie hergestellt. Implantierbare medizinische Geräte wie Herzschrittmacher schrumpfen auf immer kleinere Abmessungen. Katheter mit Miniaturdrähten, -fasern, -sonden und -sensoren werden zunehmend für minimalinvasive chirurgische und diagnostische Verfahren eingesetzt. Winzige Computer und drahtlose Kommunikationsgeräte drängen auf den Markt, ebenso wie Miniatursensoren in der Automobilindustrie. DCJ1und die Nachfrage nach mikromechanischen Strukturen geht einher mit der Nachfrage nach neuen Mikrofabrikationswerkzeugen.
