Kapton-Durchflussregulatoren (Lochgrößen von 10-200 um). Löcher in Kapton mit einer Größe von nur 1 Mikron sind mit Toleranzen im Submikronbereich möglich.

Kapton-Durchflussregulatoren (Lochgrößen von 10-200 um). Löcher in Kapton mit einer Größe von nur 1 Mikron sind mit Toleranzen im Submikronbereich möglich.