Potomac Photonics setzt eine ganze Reihe fortschrittlicher Fertigungstechnologien zur Herstellung von Mikrofluidikgeräten ein. Diese Säulenstrukturen wurden mithilfe der Fotolithografie hergestellt, um eine Polymermaske zu erzeugen, und die Merkmale wurden mit einem reaktiven Ionenätzsystem in Silizium geätzt.
Diese Säulen haben einen Durchmesser von 2 μm und einen Abstand von 2 μm.
Mit einer Höhe von 10 μm und einem Seitenverhältnis von 5:1
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