De nombreux composants utilisés dans les produits modernes sont de plus en plus petits. La taille des éléments de la technologie des circuits intégrés (CI) a été réduite d'environ deux ordres de grandeur au cours des trois dernières décennies.
Des micromoteurs de la taille d'un cheveu humain ont été fabriqués grâce à la technologie des circuits intégrés. Les dispositifs médicaux implantables tels que les stimulateurs cardiaques sont de plus en plus petits. Les cathéters dotés de fils, de fibres, de sondes et de capteurs miniatures sont de plus en plus utilisés pour les procédures chirurgicales et diagnostiques mini-invasives. De minuscules ordinateurs et des communicateurs sans fil font leur entrée sur le marché commercial, de même que des capteurs miniatures dans l'automobile. La demande de nouveaux outils de microfabrication pour les structures micromécaniques s'accompagne d'une demande de nouveaux outils de microfabrication.
