微流体应用支柱

Potomac Photonics 采用一整套先进的制造技术来制造微流体设备。这些柱状结构是利用光刻技术制作聚合物掩膜，并利用深度反应离子蚀刻系统在硅片上蚀刻出特征。

 

 

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